微量水分測(cè)定儀也叫露點(diǎn)儀是為了要獲得高品質(zhì)的產(chǎn)品或設(shè)備正常地運(yùn)轉(zhuǎn)，微量水分測(cè)定儀能直測(cè)出露點(diǎn)溫度的儀器。露點(diǎn)可以簡(jiǎn)單地了解為使氣體中水蒸汽含量到達(dá)飽和形態(tài)的溫度，是表示氣體濕度的方式之一。使一個(gè)鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現(xiàn)露滴（或冰晶）的瞬間，測(cè)出鏡面平均溫度，即為露（霜）點(diǎn)溫度。它測(cè)濕精度高，但需光潔度很高的鏡面，精度很高的溫控系統(tǒng)，以及靈敏度很高的露滴（冰晶）的光學(xué)探測(cè)系統(tǒng)。露點(diǎn)儀運(yùn)用時(shí)必需使吸入樣本空氣的管道維持清潔，否則管道內(nèi)的雜質(zhì)將吸收或放出水分形成測(cè)量誤差。

微量水分測(cè)定儀冷鏡法電解法就是將干燥劑吸取的水分經(jīng)電解池電解成氫氣和氧氣排出，電解電流的大小與水分含量成正比，經(jīng)過(guò)檢測(cè)該電流即可測(cè)得樣氣的濕度。該辦法補(bǔ)救了分量法的缺點(diǎn)，測(cè)量量程可達(dá)-80℃以下，且精度較好，價(jià)錢便宜；缺點(diǎn)是電解池氣路需要在運(yùn)用前干燥很長(zhǎng)時(shí)間，且對(duì)氣體的侵蝕性及清潔性要求較高。

微量水分測(cè)定儀振動(dòng)頻率法就是將重量法中的干燥劑換用一種吸濕性的石英晶體，依據(jù)該晶體吸取水分品質(zhì)不同時(shí)振動(dòng)頻率不同的特點(diǎn)，讓樣氣和標(biāo)準(zhǔn)干燥氣流經(jīng)該晶體，因此發(fā)生不同的振動(dòng)頻率差△f1和△f2，計(jì)算兩頻率之差即可獲得樣氣的濕度。該露點(diǎn)儀振動(dòng)頻率法具備電解法一樣的優(yōu)點(diǎn)，且運(yùn)用前勿須干燥。

微量水分測(cè)定儀冷鏡法也是一種經(jīng)典的測(cè)量辦法。讓樣氣流經(jīng)露點(diǎn)冷鏡室的冷凝鏡，經(jīng)過(guò)等壓抑冷，使得樣氣到達(dá)飽和結(jié)露形態(tài)（冷凝鏡上有液滴析出），測(cè)量冷凝鏡此時(shí)的溫度即是樣氣的露點(diǎn)。露點(diǎn)儀冷鏡法的主優(yōu)點(diǎn)是精度高，尤其在采用半導(dǎo)體制冷和光電檢測(cè)技術(shù)后，不確定度甚至可達(dá)0.1℃；缺點(diǎn)是呼應(yīng)速度較慢，尤其在露點(diǎn)-60℃以下，平均時(shí)間甚至達(dá)幾個(gè)小時(shí)，而且此辦法對(duì)樣氣的清潔性和侵蝕性要求也較高，否則會(huì)影響光電檢測(cè)效果或發(fā)生‘偽結(jié)露’形成測(cè)量誤差。

微量水分測(cè)定儀為了要獲得高品質(zhì)的產(chǎn)品或設(shè)施正常地運(yùn)轉(zhuǎn)，許多行業(yè)諸如石化、電力、電子、航空航天、冶金、紡織等對(duì)濕度測(cè)量的要求越來(lái)越高，因此，濕度測(cè)量已逐步成為一個(gè)新興的技術(shù)范圍。依據(jù)無(wú)關(guān)規(guī)程，濕度被定義為氣體中的水蒸氣含量，經(jīng)用單位有：克/升，PPM，mmHg，露點(diǎn)及相dui濕度等。習(xí)慣上以露點(diǎn)-20℃為界把所測(cè)氣體分為高濕度氣體與低濕度氣體。